技术编号：5266678
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统(MEMS)设计及加工，尤其涉 及一种在碱性腐蚀液中保护易腐蚀MEMS器件的方法。背景技术微电子机械系统(MEMS)是近年来高速发展的一项高新技术。在制 作MEMS器件时，经常要在完成所有集成电路工艺后利用氢氧化钾 (KOH)和四甲基氢氧化胺(TMAH)等碱性溶液对MEMS器件进行各 向异性腐蚀。然而，这些碱性腐蚀溶液一般都会对MEMS器件上的Al和 压电材料ZnO等材料有腐蚀作用。因此，要开发出一种能在碱性腐蚀液中 有效保护易腐蚀...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。