技术编号：5267214
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超声传感器，尤其涉及一种电容式微加工超声传感器(cMUT)。 背景技术电容式微加工超声传感器是一种有着广泛用途的静电传感器。超声传感器可以在 象液体，固体和气体等多种介质里工作。超声传感器已经应用在医药诊断和治疗，无损伤材 料测试，声纳，通讯，接近传感器，气体流动测量，实时工艺控制，超声显微镜等多种领域里。 跟广泛应用的用压电陶瓷(PZT)技术做成的传感器比较，电容式微加工超声传感 器在制作工艺，频谱带宽以及工作温度等方面都有很大的优势。例...
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