技术编号：5267341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微电子机械系统的制备方法，具体是一种基于在空气和液体中工作的热微驱动器的制备方法。 背景技术微电子机械系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一门应用应用技术，而 微驱动器是微电子机械系统的重要组成部分。在很多领域的研究需要对微小的物体进行操 纵，比如抓取、固定、移动、转动等。虽然现在有很多MEMS驱动器，但是当它们应用在生物 医学领域时，都被偏移量太低，输出的作用力太小，能耗太大或者是电压太大所限制。因此 寻求一种性能良好的驱动器对...
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