技术编号：5267417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本领域涉及微机电系统(MEMS)，且更特定来说，涉及用于MEMS装置的电参数的测 量的方法和系统。背景技术微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激活器和电子器件。可使用沉积、蚀刻和/ 或蚀刻掉衬底和/或所沉积的材料层的部分或者添加层以形成电气装置和机电装置的其 它微机械加工工艺来制造微机械元件。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。如本 文中所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指使用光学干涉的原理来选择性地吸收 和/或反射光的装置。在特定实施例中，...
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