技术编号：5267541
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械加工领域，尤其涉及一种。背景技术高灵敏度低噪声微加速度计在惯性导航、地质监测、空间微重力测量等领域都有 广泛的应用。MEMS加速度计由于采用了硅微机械加工技术，具有成本低、体积小、便于批量 自造等优势，已经在低精度以及中等精度加速度计应用领域占据主导地位。但是随着MEMS 加速度体积的縮小，在传统加速度计中并不显著的热噪声问题、应力问题、压膜阻尼问题等 问题，由于尺寸效应而变得显著。 为了提高MEMS加速度计的信噪比，即提高检测灵敏度，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。