技术编号：5267786
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压印模具，尤其涉及一种适用于压印微米级元件的压印模具。 背景技术制造尺寸为微米级(通常几微米至几百微米)的元件时，如果在压印模具的压印面上开设排气孔，则压印模具的精度降低，而且，还容易在产品上留下排气孔的痕迹，使得压印转写率降低，因此，此种压印模具的压印面一般不设置排气孔。但是，如果无排气孔会使得模腔内的气体无法及时排出，较容易发生气爆，操作危险。发明内容有鉴于此，有必要提供一种既能排气又不影响转写率的压印模具。一种压印模具，该压印模具用于压...
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