技术编号：5268316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种方法和设备，用于干燥晶片，此晶片用以制作半导体装置和采用微型机电系统(MEMS)的装置，而更为具体地说，涉及一种用于利用离心力干燥一晶片的防吸附方法和设备。背景技术 在采用微型机电系统(MEMS)技术的各种RF装置中最为广泛应用的射频(RF)装置是一种RF开关。这种采用MEMS技术的RF开关一般用以分拣采用微波或毫米波的无线通讯系统中的信号，而特别是，信号发送或阻抗匹配网络中的信号。一允许切换的微型结构嵌置在一RF开关之中。一除去一牺牲层和把...
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