技术编号：5269036
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种状态可锁定的大位移MEMS可调谐光开关器件及其制作方法，MEMS光开关包括基片、第一梳齿、第二梳齿、第一变形梁、第二变形梁、第一自锁结构、第二自锁结构、微反射镜面、锚点和信号引线，对第一梳齿施加驱动信号时，通过所述第一变形梁和第二变形梁的弯曲带动微反射镜面以及第一自锁结构同时沿锁定方向移动，与第二自锁结构实现相互锁定，第二梳齿运动时带动第二自锁结构同时沿解锁方向移动，实现与第一自锁结构的锁定解除。本发明实现了微镜面的大位移运动和光开关状态的自...
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