一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法技术资料下载

技术编号:5269220

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本发明提供,包括步骤通过至上而下的工艺在(111)型硅片上制备出特定尺寸的硅纳米线,保留氮化硅掩膜层,并以此为绝缘层在其上制作栅极,同时在硅纳米线两端的体硅上通过离子注入制备漏极和源极,构成了基于硅纳米线的场效应管,由于硅纳米线整体贴在氮化硅薄层上,成品率得到很大提高。所制备的纳米线直径和长度可控,比表面积大,活性强,可作为气体传感器和生化传感器的敏感元件,具有广阔的应用前景。专利说明 [0001]本发明属于MEMS,特别是涉及一种硅纳米线场效应管的...
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