技术编号：5269956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据权利要求1的前述部分的微机械构件。此外本发明还涉及用于微机械构件的制造方法。背景技术微机械构件通常具有相对于微机械构件的保持装置可调节的元件。此外，微机械构件还可以具有分析处理装置，所述分析处理装置被设计用于确定关于可调元件相对于保持装置的当前位置的信息。传统的分析处理装置例如包括光学传感器，所述光学传感器包括用于发射朝着可调元件的反射表面的光束的光源和用于测定在反射表面上反射的光束的入射点的探测器。 但这种光学传感器相对较贵且需要相对较大的...
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