技术编号：5270216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接，所述质量块与所述内框架之间设置有梳状耦合结构，其中上层测量体的梳状耦合结构走向与下层测量体的梳状耦合结构走向在投影平面上相互垂直，所述上层测量体与所述下层测量体分别测量两个相互垂直方向上的加速度，所述上层测量体及下层测量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。