技术编号：5425636
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空泵，尤其涉及一种改进的涡旋式真空泵。背景技术近年来，人们易研制了多种类型的干泵，广泛应用于半导体工业、分析仪器和电子工业等真空应用的各个领域，现有的真空泵加工、装配、定位要求精度高，且加工必须用专机，废品率高，不利于批量生产，成本较高，现有的真空泵上阀片和弹簧易脱落，易被吸进气缸内造成缸体磨损，降低真空泵的性能，为解决上述问题，特提供一种新的技术方案。发明内容本发明的目的是提供一种改进的涡旋式真空泵。本发明采用的技术方案是 一种改进的涡...
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