技术编号：5457115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵机组的冷却装置，尤其涉及分流式真空泵机组的冷却装置。 背景技术旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片式真空泵多为中小 型泵，有单级和双级之分。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。双极旋片式真 空泵(俗称2X型真空泵)是用来抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空度的 基本设备。同等规格的真空泵双级的真空度高于单级。双级旋片泵可直接获得6.0X 10_2 帕以下的真空度，可以作为其他真空设备的前级泵使用，可供冶金...
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