技术编号：5465503
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于流体机械，尤其涉及用于半导体、节能灯、太阳能制造行业获得真空的一种抗大气冲击的分子泵，本分子泵包括底盘，底盘中部安装有电机，转子扣装在底盘上，泵壳通过螺钉固定扣装在转子与底座上，泵壳顶部设有进气口，底盘侧面靠近底部设有排气口；转子由圆柱形硬质铝合金材料整体加工成型，转子从顶部至底部均匀开有4～8个螺旋形排气槽，转子内部设有一个安装层，其上下两侧为中空腔体，安装层中心位置开有一个锥形通孔；电机主轴延伸到底盘上部的部分插入转子安装层上的锥形通孔内，与...
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