技术编号：5485767
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及高真空油扩散泵，具体地说是一种五级金属直腔型高真空油扩散泵。技术背景 高真空油扩散泵是基础的真空获得设备。广泛用于航空航天、原子能、真空冶金、真空热处理、真空镀膜、化工工业等领域。长期以来，由于国内直腔型高真空油扩散泵工作范围窄、抽速低、高压强 端性能差、返油大等缺点，使得直腔型高真空油扩散泵的应用受到很大的约束。参见图5与图6传统高真空油扩散泵，泵体3上方设有进气口 17，泵体3 底部作为油室9，油室装有泵油，泵体外部、底部设有敞开式加热器...
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