技术编号：5488768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微电子机械系统领域，特别涉及微型泵结构设计。近十几年来，微型机械制造技术一直是非常活跃的研究领域。微型泵作为一种重要的微型执行器，可广泛应用于人体体内葡萄糖浓度监控和药物输送、DNA合成、微量流体供给和精确控制、芯片冷却系统和微型卫星等等，其广泛的应用前景引起研究者的极大兴趣和深入细致的研究。目前，已研制出的微型泵结构、加工工艺形式多样，驱动原理分别有静电致动、压电致动、电磁致动、热致动、气动、电液致动、凝胶致动、光致动、超声波致动(FTP)...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。