技术编号：5662211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的课题是提供一种能够大幅度减少闸阀进行动作时产生的微粒和放出气体的闸阀以及具备该闸阀的腔室。为了解决上述课题，本发明的闸阀（1），通过在密封板（8）和背板（9）之间内置的直动式驱动器（10）使密封单元（4）进行动作而对开口部（7）进行开闭，当受到密封板（8）被按压到密封面（12）上时的反作用力而使设置在背板（9）的上部的缓冲部件（17）与设置在腔室（6）中的上部止动件（14）接合时，通过与背板（9）连接的阀杆（2）弹性形变为弓状，以减轻表面压力和接合...
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