具有增强的抗污性的微型阀的制作方法技术资料下载

技术编号:5694721

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本发明涉及一种微型阀,包括基板,基板包括表面、设置在表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的第一流体端口以及在第一流体端口周围延伸的第一密封结构。微型阀还包括盖板,盖板包括表面、设置在表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的第二流体端口以及在第二流体端口周围延伸的第二密封结构。中间板布置在基板和盖板之间,并且包括可在闭合位置和打开位置之间移动的可移位构件,其中在闭合位置,可移位构件与密封结构配合来防止流体端口之间的流体连通,在打开位置,可移位构件不与密封结构的至少...
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