技术编号:5725765
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种分体式超精密空气静压单轴转台,包括转台回转轴系、驱动轴系和工作台面,还包括有空气静压联轴节,所述驱动轴系通过空气静压联轴节连接并驱动转台回转轴系,所述工作台面同轴固接在转台回转轴系上,所述驱动轴系内设置有密珠轴承,所述密珠轴承的轴孔与驱动电机同轴固接,所述空气静压联轴节与密珠轴承的同轴固接,所述转台回转轴系内设置有径向空气静压轴承,所述径向空气静压轴承与空气静压联轴节同轴固接,在所述空气静压轴承的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承。采用本...
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