技术编号：5732553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型主要涉及一种专门适用高真空设备的阀门，特别涉及气动真空角阀。技术背景-真空阀门是真空系统中的重要原件之一，专用于高真空设备，尤其是应用于 真空检漏，ITO透明导电玻璃镀膜生产线上，以及半导体器件、太阳能器件、光 学器件镀膜用真空设备中，对于其密封性必须有严格的要求。目前，为保证真空 阀门的密封性常采用波纹管密封结构，但是波纹管密封真空阀门加工难，生产成 本高、维护较困难，技术急需改造。 实用新型内容本实用新型目的是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种...
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