技术编号：5734391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于一种用以承载设备的平台结构，特别是一种高阻尼吸振平 台结构。背景技术在制造工艺逐渐迈向纳米等级分辨率的今日，无论在电子或半导体产业， 多数制程及检测设备对于环境微振动相当敏感，在抑制环境振动的要求上将更 为严苛。由于在不良的微振动环境下，常会造成仪器的误动作或者测量的结果 难以判读，所以这些制程及检测设备的承载平台必须要具备优良的动态特性， 使得无论是由环境传来的振动或者是平台设备本身所产生的振动，在运作的频 宽范围能有效的被消除。传统的平台...
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