技术编号：5758694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种，尤指一种适用于调整垂直式物理汽相沉积机台与玻璃基板间间隙的弹簧螺丝组及方法。背景技术 螺丝为一般生产设备中最常用来锁合与固定零件的工具，具有各种尺寸与样式，可加以搭配组合，以提供所需的锁固功能。就于零件与零件间预留一间隙的需求而言，例如制造液晶显示器的物理汽相沉积(PVD)机台里，为防止夹破玻璃基板，于薄膜沉积开始之前，需于玻璃基板与遮罩(Mask)之间预留一间隙，同时为控制成膜范围及其品质，需调整此间隙至适当状态，例如使基板与遮罩间各处...
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