一种静电防尘真空阀的制作方法技术资料下载

技术编号:5774327

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在本实用新型涉及真空阀领域,特别是涉及一种静电防尘真空阀。 背景技术真空阀是常用的真空泵与真空系统连接阀门,用途非常广泛。在真空泵和真空系统中有一些泵体和真空系统对气体纯净度要求较高,灰尘存在会对泵体和真空系统造成损坏,如油扩散泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。它是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。在使用油扩散泵时要时刻注意,被抽气体应是无灰尘的室温气体,因为空气中...
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