技术编号：5781178
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过抑制旋转密封环的振动并防止密封面之间的接触来防止密封环的密封面之间的磨损、从而可防止磨损粉末混入被密封流体内的机械密封装置。背景技术 本发明的技术作为对半导体制造设备等的被密封流体进行密封的机械密封装置是有用的。在该半导体制造设备等中，若被密封流体中混有杂质，则杂质会给制造物带来不良影响。为此，在机械密封装置中，还必须防止因密封环在旋转时的磨损而导致磨损粉末进入被密封流体。对此，作为防止密封环的密封面磨损的装置，使用非接触式机械密封装置。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。