技术编号：5816093
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对不用泵而以高于环境的压力将超高纯液态二氧化碳输送至使用点的方法和装置的改进。背景技术 许多工业过程都需要高压、超高纯的液态二氧化碳。例如，电子工业中的一些发展应用要求使用高流速和高压下的超临界二氧化碳。其它应用如除去光刻胶、沉积、光刻术等都需要输送至使用点(POU)、压力为2,000-10,000psig的超高纯(UHP)液态二氧化碳。后者取决于许多因素，例如应用的细节、工具设计、工艺原理等。获得高压二氧化碳的一种方法是将液态二氧化碳泵至所需的...
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