技术编号：5831730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及侧对接式测试机械手，更具体地，涉及一种用于转移 侧对接式测试机械手中测试盘的方法。背景技术通常，测试机械手为用于辅助测试人员来测试通过预定制造流程 所制造的半导体器件的设备，该测试机械手通过测试结果等级来对半 导体器件分类。测试机械手已被如名称为测试机械手、早期公开号(Laid-open)为20030029266的韩国专利等文献所公开。参考附图1,给出了常用的侧对接式测试机械手从上面看的示意 图。侧对接式测试机械手包括加载单元ll、均热腔室12、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。