技术编号：5832708
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。放大流量通过压力传感器0001概括地说，本发明的实施方案涉及传感器方法和系统。 本发明的实施方案还涉及基于MEMS (微型电子机械系统)的压力传 感器。另外，本发明的实施方案还涉及合并了用于信号调节和/或放大的ASIC (专用集成电路)部件的压力传感器。背景技术0002在不同的应用中为测量流量速率采用了许多方法和装置。 基于微型MEMS的压力传感器能够被用以测量非常低的流量速率，并 且具有可靠的准确度。这种基于MEMS的压力传感器已被应用于例如 多种流量传...
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