技术编号：5835217
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及MEMS器件微流量测量，更具体的说是涉及一种针对MEMS器件微流量流速检测中寄生电容干扰信号的抑制方法。 背景技术 MEMS器件是在硅等半导体基底材料上制作而成的微小结构腔体，可形成基于压电、静电、磁致伸缩及热电等效应工作的微传感器和微驱动器，它兼具信号处理功能、对外部世界的感知功能和作用功能，被广泛用作压力传感器、温度传感器、加速度计、微泵、微阀、微开关及药物微喷等多个领域。随着MEMS加工中硅-硅或硅-玻璃键合工艺的不断成熟与发展，推动...
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