技术编号：5840136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对被检查体的电气特性进行检查的检查 装置、探针卡、以及使用该检查装置、探针卡来进行的被检查 体的检查方法。背景技术例如使用检查装置对形成在半导体晶片上的IC、 LSI等电 子电路的电气特性进行检查。检查装置具有电气连接到测试器 上的探针卡，在该探针卡的下表面安装有多个探针。然后，通 过使探针接触晶片上的电子电路的各电极并对电极流通电信 号来进行电子电路的检查。然而，当在电极表面形成有氧化膜时，电信号难以流通， 不能正确地进行检查。另外，当为了...
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