测试探针及其制作方法技术资料下载

技术编号:5841720

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本发明涉及一种,特别是有关于一种应用于集 成电路元件测试的。背景技术在现有技术的集成电路元件测试所使用的探针,常用的有弹簧探针(pogo pin)或其它的探针式电子连接器(pin connector)等,为了提高探 针使用效能,多半集中在改善探针内部元件的弹性,以提高探针的使用效 能,而不会轻易伤害到待测元件等。例如现有技术中的美国公告专利 US6046597、 US7102369、 US6791345、 US6859504、及US5634801等所揭露 ...
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