技术编号：5842721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光移相干涉波面测量技术，尤其是主被动结合移相 后利用光强求取相位的解相算法，和干涉图平均消除随机误差的处理 方法。背景技术激光干涉测量是利用激光的相干性，对相位变化所反映的信息进 行处理的光电测量技术。由于光是一种高频电磁波，直接观测其相位 变化比较困难，因此使用干涉技术将相位差变换为光强的变化，观测 起来就容易得多。为了从光强变化中提取相位，时空移相干涉技术被 广泛应用。该技术的原理是，利用机械、声光、电光、相位板等各种 方式对被测光引入特定...
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