基于干涉条纹形状的二维小角度测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5850084

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本实用新型涉及一种高精度二维小角度测量装置,属于精密测量。背景技术微小角度的测量在精密加工、航空航天、军事和通讯等许多领域都具有极其重要的意义和作用。光学测角法由于具有非接触、高准确度和高灵敏度的特点,因而成为精密测量的重要方法。目前光学小角度测量方法主要有光电自准直仪法、激光干涉法。光电自准直法利用激光本身的方向性,以激光光强分布中心作为基准直线,采用光电探测器探测光斑的位置,实现角度的测量,该方法结构简单,使用方便;但在高精度小角度测量中,由于光源部分...
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