技术编号：5858486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种测量激光等离子体的离子平动能仪，其测量仪器主要用于对 激光与材料作用产生的等离子体的离子平动能进行检测、分析处理。背景技术用激光辐照固体材料引起烧蚀溅射是一个激光与物质相互作用的基础性问题，也 是一种高新技术，在材料加工，特别是在微电子材料加工以及产生高质量的光电材料薄膜 方面有广泛应用前景。为了给实际应用提供可靠的依据，需要深入研究激光烧蚀溅射的过 程。最近十多年来，大量的实验研究工作已经出现。强脉冲激光辐照固体材料将引起材料 烧蚀，诱...
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