技术编号：5858933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种传感器老化测试仪。背景技术质量流量控制器用于对气体的质量、流量进行精密控制和测量。流量传感器是构成质量流量控制器的重要部件，现有的流量传感器采用毛细管温差量热法测量气体的质量、流量。具体为将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定流量相等。 为了防止仪器在使用一段时间后由于老化出现漂移，因此需要在出厂前预先对出传感器进行老化，并要...
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