技术编号：5878847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量装置，特别涉及一种微动测量装置。 背景技术为提高产品的性能，对产品各组件的精度要求越来越高，各种测量装置也越来越 多的运用在生产过程中，以对组件的精度进行管控。传统的微动测量装置，其设有一机台，该机台上设有一固定框架，该固定框架上吊 设有一伺服马达，该伺服马达与一探针模块结合在一起，然而这种装置构造在使用时，因伺 服马达具有一定的重量，所以探针模块的移动需要克服较大的磨擦力，并且探针模组在移 动过程可能会产生抖动，导致探针模组无法精准对准...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。