技术编号:5879590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种,且特别有关于一种可以自动化且暂时性地建立与管理相应Runcard的制程定义的。背景技术 在半导体制造过程中,对于研发实验、制程参数调整、或是客户要求的制程条件修正,半导体代工厂(IC Foundry)会以纸本方式产生一Runcard来详细描述相应信息,如半导体设备编号、晶圆(Wafer)数量、晶圆编号、制程程序(Recipe)、或用于实验的分划板(Reticle)等信息。图1是显示制造执行系统(Manufacturing Executi...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。