技术编号:5880513
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及一种聚焦系统和一种聚焦方法,更具体地涉及利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向,将光束会聚于样品表面的聚焦系统和方法。本发明还涉及包括上述聚焦系统的光学测量设备。背景技术一般来说,光学测量技术中的一个关键环节是将探测光束聚焦到样品上。目前通常有两种方法。一种方法是将系统中的最后一个聚焦透镜与其它元件分开,通过仅仅调整这个聚焦透镜来将探测光束聚焦到样品上。例如,如图1所示,通过对最后一个聚焦透镜进行上下移动来实现聚焦。另一种方法是通过对...
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