技术编号：5895786
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及偏振測量，特别是一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和測量方法。背景技术双折射器件在浸液光 刻偏振照明、移相干涉测量和生物光学等领域中具有广泛的应用，双折射器件的两个重要光学參数是相位延迟量和快轴方位角。在浸液光刻偏振照明和移相干涉测量中使用双折射器件的过程中要求知道双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布，故需要精密地測量双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布。在先技术[I](參见宋菲君，范玲，俞蕾等.ー种光学相...
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