技术编号：5904911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光波波面的测量，特别是一种透镜衍射波面测量仪。背景技术激光应用中，经常要求所发射激光光束达到高度的平行性，用于集中能量提高效率或者产生尽量小的聚焦光斑。光学衍射极限是光束在理想条件下受到有限孔径限制所能达到的最小的发散度，此时光波波面与平面波仍具有约0.3λ的波面像差。多年来，用于测量波面像差的方法有很多种，许多方法也相当成熟。点衍射干涉仪波面传感器(参见《Introduction to Wavefront Sensors》，J.M.Geary，...
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