技术编号：5930986
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明与探针卡有关，具体地说是指一种集成化探针卡及组装方式。背景技术 按，以目前常使用于半导体工业中的多种探针卡型式而言，如美国专利第4027935、第4754256、第5090118、第5475318及第6072190号…等，虽然上述各种探针卡的结构、动作原理及制造方式皆不尽相同，然而却皆具有多项缺点，例如传统的探针卡中，其探针的型式可概分为悬臂梁式(cantilever type，如epoxy ring probe card)及垂直式(vertical...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。