技术编号：5938700
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学元件及干涉仪。背景技术目前已知有可以通过把来自光源的光分成測量光(物体光)和參考光，使透过测量对象或反射了的測量光和參考光重合引起干渉，并解析干渉的状态，来对测量对象的凹凸以及相位变化进行测量的马赫-增德尔干涉仪。而且还已知有对马赫-增德尔干涉仪附加调制测量光频率声光元件，使被调频的測量光和參考光干涉并发生光差拍的外差干涉仪(例如，特开2003-90704号公报)。图16示出外差干涉仪的结构例。在图16示出的干涉仪100包括光源110、第一及...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。