技术编号：5940413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明与薄膜有关，特别是一种剥离法薄膜附着力的测量装置。背景技术薄膜的附着力就是把薄膜静态地从基片上剥落下来所需要的最小力。它是表征薄膜与基片粘着程度的物理量，与薄膜的耐久性、耐磨性及机械稳定性紧密相关，薄膜附着力的大小直接关系到薄膜元件的使用寿命，因此在薄膜研究中对其附着力大小进行测量显得非常重要。剥离法是最直接的一种薄膜附着力测量方法，现在常用的是胶带剥离法，就是通过拉粘着在薄膜表面的胶带，看薄膜被胶带剥离下来的面积大小。显然这种方法比较粗糙，只能定性...
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