技术编号：5942071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压力传感器，具体地说，涉及一种耐高温、抗腐蚀的基于智能剥离硅隔离芯片的压力传感器。背景技术高温压力传感器在飞机引擎控制、化学工业、石油化工以及能源电力等领域有着非常广泛的应用。近年来，人们把注意力集中在开发基于宽能带材料的高温压力传感器，如碳化硅、 氮化镓等，这些材料虽然有着优良的抗腐蚀耐高温性能，但其加工工艺还不成熟，加工成本很高，离实现应用还有较大的距离。因此，基于SOI硅材料的的低成本压阻式高温压力传感器仍然具有很大的吸引力。SOI硅材...
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