技术编号：5949738
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。调整MEMS陀螺仪以减小热变偏移本申请要求于2011年4月27日提交的美国临时申请No. 61/479,765的权益，上述申请整体作为參考引入本文。背景技术微机电系统(MEMS)陀螺仪具有偏移(bias)，该偏移是温度的函数(比如，热变偏移)。这种偏移会限制其性能，尤其是大温度改变或存在热梯度吋。典型地，可通过软件后处理来补偿热变偏移，该软件后处理基于建模和经验数据来调整输出信号。发明内容本申请涉及一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法。本...
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