用于检测纳米材料拉伸和压缩力学性能的微机械结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5969951

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本实用新型涉及微机械技术和纳米材料科学领域,具体说来是一种微机械结构,用于检测一维纳米材料拉伸和压缩力学性能的微机械结构,适合用来检测一维纳米材料杨氏模量、拉伸强度、断裂强度等。背景技术一维纳米材料,如纳米管、纳米线和纳米带等,是具有优异物性的低维纳米结构材料,预计在未来的纳机电系统、气体传感器、纳电子和光电子器件领域中将具有广泛的应用前景。但随着材料尺寸的减小,当减小到纳米时,尺寸效应、表面效应和量子效应等相关效应的凸显,使得纳米材料的一些物理性质与常规...
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