技术编号：5970070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种便携式多功能真空校准装置，具体涉及一种用于真空规、真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的实验室、现场和在线校准测试装置，属于测量。背景技术真空校准技术在航天、表面、微电子、太阳能、光电子等科研生产中具有重要的意义，对于科研或企业生产线，需要对真空规真空漏孔、检漏仪及气体微流量计进行现场或在线校准测试，这样使校准条件与使用条件基本相同，不仅提高了校准精度，而且避免了因为停止工作系统送往实验室校准的经济损失和时间浪费，因此在科研、生产制造中提出了现...
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