技术编号:5985165
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种测试仪,具体涉及一种泡泡高度测试仪。背景技术干膜光阻是电子工业中大规模集成电路微细加工过程中不可缺少的基础性关键材料,主要应用于印刷电路板(PCB)工业、导线架等精密蚀刻工业及平面显示器工业之影像转移制程上,干膜的应用制程主要如下压膜一曝光一显影一蚀刻一剥膜。随着自动化程度的提高,干膜的显影制程主要采用滚轮传动与高压喷嘴喷淋结合的方式,在干膜的显影过程中,由于光阻在显影液中逐渐的溶解和显影液的不断循环,以及滚轮传动与喷压的影响,显影液容易...
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