技术编号：5986209
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石英产品制造领域，尤其适用于一种石英坩埚气泡膨胀评价装置。技术背景 石英玻璃坩埚是硅单晶拉制必不可少的辅件，在单晶生长过程中，高温熔融硅液与石英坩埚内表面接触并发生化学反应，产生的SiO气体会进入到硅液中。若反应过于剧烈，会影响石英坩埚的使用寿命。反应产生的大量气体，可能会在炉内冷凝后再次掉入硅液内，作为杂质导致单晶位错不良，影响成晶率；而且SiO气体大量溶入硅液后会导致单晶硅棒中氧的含量偏高，影响硅片成品率。为抵御这些不良影响，一般会在石英...
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