技术编号：5989756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及压力传感器装置的整体封装设计，属于仪器仪表。背景技术压力传感器应用广泛，适合于多种现场进行多种介质的压力测量，是系统控制的关键检测部件。现有的压力传感器主要为硅压阻式和电容式两种，而硅电桥压阻式又是绝大部分的设计方式。但现有的感应硅压阻式压力传感器即为运用扩散硅的受力阻值发生应变的性能，当硅片受力，电桥平衡发生偏移就产生相应大小的电压信号。通常是在硅片上蚀刻一个电桥，再在硅片的下部烧结有中孔的杯状基座，硅片将所受到的压力用模拟量电压输出，再经...
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