技术编号：6000680
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有一个衬底和至少一个设置在衬底上且相对衬底运动的质量块的微机械传感器，用于感测基于同时出现的加速力和/或科氏力引起的传感器运动，其中所述质量块和衬底和/或两个相互运动的质量块通过至少一个弯曲弹簧装置相互连接， 所述弯曲弹簧装置具有一个弹簧臂以及设置在其上的扭曲(Maeander)，该扭曲具有曲率中心在扭曲内侧的曲率圆。背景技术微机械传感器用于感测沿三个相互垂直正交的空间轴中的一个轴或围绕其中至少一个轴的加速度和/或旋转速度。其工作原理原则上...
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